物理气相沉积技术 PVD 介绍

物理气相沉积技术 PVD 介绍
物理气相沉积具有金属汽化的特点,与不同的气体反应形成一种薄膜涂层。今天所使用的大多数 PVD 方法是电弧和溅射沉积涂层。这两种过程需要在高度真空条件下进行。
Ionbond 阴极电弧PVD 涂层技术在 20 世纪 70 年代后期由前苏联发明,如今,绝大多数的刀模具涂层使用电弧沉积技术。
工艺温度
典型的 PVD 涂层加工温度在 250 ℃— 450 ℃之间,但在有些情况下依据应用领域和涂层的质量, PVD 涂层温度可低于 70 ℃或高于 600 ℃进行涂层。
涂层适用的典型零件
PVD 适合对绝大多数刀具模具和部件进行沉积涂层,应用领域包括刀具和成型模具,耐磨部件,医疗装置和装饰产品。
材料包括钢质,硬质合金和经电镀的塑料。
典型涂层类型
涂层类型有 TiN, ALTIN,TiALN,CrN,CrCN,TiCN 和 ZrN, 复合涂层包括 TiALYN 或 W — C : H/DLC
涂层厚度一般 2~5um ,但在有些情况下,涂层薄至 0.5um , 厚至 15um装载容量。
涂层种类和厚度决定工艺时间,一般工艺时间为 3~6 小时。
加工过程优点
适合多种材质,涂层多样化
减少工艺时间,提高生产率
较低的涂层温度,零件尺寸变形小
对工艺环境无污染
分类

 

当前物理气相沉积分为三类,射频直流溅射、PLD、ion beam。
缺点

由于不同粒子溅射速率不同,所以物理气相沉积薄膜组分控制比较困难。
Programmable Voltage Detector
PVD涂层(Programmable Voltage Detector),即可编程电压监测器。应用于STM32ARM芯片中,作用是监视供电电压,在供电电压下降到给定的阀值以下时,产生一个中断,通知软件做紧急处理。当供电电压又恢复到给定的阀值以上时,也会产生一个中断,通知软件供电恢复。

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